1、在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100。

2、全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

3、采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)。

4、強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到佳溫度控制精度。